实验室介绍

     微纳光学测控实验室（Micro-Nano Optical Measurement and Control Laboratory）隶属于天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室仪器核心部件及近极限测量技术方向。自2010年成立以来，立足自主创新，聚焦于微纳光学精密测控方法、技术与仪器的研究，已发展出光谱精密测量和光镊精密操控两个研究方向，建立了以光谱测量为技术特色的纳米薄膜和原子厚度表/界面精密测量方法，创新发展了以高精度光镊技术和新型光场调控技术为基础的单分子力谱操控与测量技术，主持国家和省部级项目12项，参与省部级以上和国外项目12项，发表学术论文160余篇，授权中国发明专利23项和软件著作权9项。已培养博士后3名，博士7名，硕士28名。其中，获得天津市优秀博士学位论文奖1名，天津大学优秀博士学位论文奖1名，天津市优秀硕士论文奖1名，天津市工程专业学位研究生优秀学位论文奖1名，天津大学优秀硕士论文奖2名，全国仪器类专业优秀本科生毕业设计论文奖2名。

     近年来，实验室瞄准精密测试领域科学前沿和国家重大需求，重点在原子及近原子尺度制造的精密测量和集成电路量测方向发力，已研制出系列化薄膜厚度测量仪器、二维材料光学各向异性测量仪器、超光滑晶体表面质量测量仪器和高深宽比微结构深度测量仪器等，在国内外30多个研究机构和企业中获得应用，并探索产业化转化。热忱欢迎社会各界合作交流，为我国精密测量领域的发展共同努力。

光谱方向

     薄膜材料是以芯片、显示面板为代表的信息产业的关键性基础材料。微纳米超薄膜，特别是原子厚度薄膜，正成为新一代制造工艺的基础材料和功能结构，其高质量可控制备及装备是我国信息领域突破发展的重要支点，有效测量是这一支点常被忽视的隐性要素。实验室致力于在传统的反射光谱技术基础上，开发新型的、先进的光谱技术，为新材料的薄膜厚度测量、二维材料的精密表征与可控制备提供精确、稳定、可靠的测试方法。主要研究方向包括：

  1. 显微式差分反射光谱薄膜测厚技术

  2. 低对称二维材料光学各向异性显微成像技术

  3. 亚单分子层灵敏度薄膜生长过程在线光谱测量技术

  4. 光学晶体表面/亚表面质量偏光测量技术

  5. 高深宽比微结构深度测量技术